日本ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵系統(tǒng)

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵系統(tǒng)

特征

用桌子型的小型可以在小的空間內(nèi)安裝。

真空室可以在不停止主泵的情況下打開(kāi)。

由于是空氣冷卻型，因此不需要油擴(kuò)散泵的冷卻水。

規(guī)范

模型	VPC-051
極限壓力	7.0×10-4帕 1.5×10-4Pa（LN2)
主泵	油擴(kuò)散泵（風(fēng)冷） 50 L/sec
前級(jí)泵	油旋轉(zhuǎn)泵 20 L/min
主閥	25A 蝶閥
副閥	三通閥
入口法蘭	VG-25型
重量	20 公斤
外形尺寸 （W×D×H）	350 毫米（寬）×320 毫米（深）×461 毫米（高）

※電離真空計(jì) ？皮拉尼真空計(jì) ？LN 冷阱 ？轉(zhuǎn)換法蘭 ？油霧捕集器是選項(xiàng)。

模型	VPC-051
所需功率	單相 100V 0.63kVA
接地端子	D 級(jí)（接地電阻/100MΩ 以下）
連接	乙烯基電纜（帶插頭） 2m

油擴(kuò)散泵

型	DPF-050
極限壓力	10-5帕
最大疏散能力	50 升/秒
臨界背壓	13帕
所需功率	單相 100V 0.25kW
推薦油	SY 20cc
重量	1.8 千克
入口法蘭	VG-25型
出口法蘭	Φ14毫米
冷卻方式	風(fēng)冷

尺寸圖

排氣系統(tǒng)圖

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